特許
J-GLOBAL ID：200903088998865980
光導波路デバイスの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-255134
公開番号（公開出願番号）：特開平6-110022
出願日： 1992年09月25日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】【目的】 光変調器,光スイッチ等の光導波路デバイスの製造方法に関し、短冊板の側面に接着剤はみ出し部が発生しにくい、及び再現性が良く光結合損失が小さいことを目的とする。【構成】 母材1をYーYライン及びXーXラインでマトリックス状に区画し、左右の端部がYーYラインに直交するよう光導波路3をそれぞれの区画内に形成し、母材1と同材料よりなり、下面に長手方向に走行する溝30を有する短冊板10を設け、短冊板10の下面で溝30の片方の面部分に接着剤15を塗布し、塗布した面がYーYライン上に位置し、溝30がYーYラインの内側で平行するよう、短冊板10を該母材1に貼着した後に、短冊板10を含めて母材1をそれぞれのYーYラインで切断し、さらにXーXラインで切断して、個々の基板2に分離する構成とする。
請求項（抜粋）：
電気光学結晶よりなる基板の表面側に形成した光導波路と、該光導波路の上部に所望に形成した制御電極と、からなる光導波路デバイスであって、母材(1) をYーYライン及びXーXラインでマトリックス状に区画し、左右の端部が該YーYラインに直交するよう、光導波路(3) をそれぞれの区画内に形成し、該母材(1) と同材料よりなり、下面に長手方向に走行する溝(30)を有する短冊板(10)を設け、該短冊板(10)の下面で該溝(30)の片方の面部分に接着剤(15)を塗布し、塗布した面が該YーYライン上に位置し、該溝(30)が該YーYラインの内側で平行するよう、該短冊板(10)を該母材(1) に貼着した後に、該短冊板(10)を含めて該母材(1) をそれぞれの該YーYライン及び該XーXラインで切断して、個々の基板(2) に分離することを特徴とする光導波路デバイスの製造方法。
IPC (2件)：
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