特許
J-GLOBAL ID：200903088999540546
半導体材料収納用具
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高月 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-098797
公開番号（公開出願番号）：特開平6-291177
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：
【要約】【構成】 半導体材料を収納する収納用具であって、少なくとも半導体材料収納部を構成する材料として、繊維状の帯電防止物質、あるいはカーボン繊維2を含有するPP等を母材1とする材料を用いたもの。【効果】 素材自体からの汚染のおそれが防止され、きわめて清浄に、悪影響なく半導体材料を収納できる。
請求項（抜粋）：
半導体材料を収納する収納用具であって、少なくとも半導体材料収納部を構成する材料として、繊維状の帯電防止物質を含有する材料を用いたことを特徴とする半導体材料収納用具。
IPC (2件)：
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