特許

J-GLOBAL ID：200903089006643503

インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置

発明者： 亀井 宏行
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-247514
公開番号（公開出願番号）：特開2002-059544
出願日： 2000年08月17日
公開日（公表日）： 2002年02月26日
要約：

【要約】【課題】 高密度且つ各圧力発生室間のクロストークを低減したインクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置を提供する。【解決手段】 単結晶シリコンからなりノズル開口21に連通する圧力発生室12が画成される流路形成基板10と、該流路形成基板10の一方面側に振動板50を介して下電極60、圧電体層70及び上電極80からなる圧電素子300とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記流路形成基板10の他方面側に接合基板110が接合されていると共に、前記圧力発生室12の前記接合基板110側に当該圧力発生室12の振動板50とは反対側の面を画成する充填層100を設ける。

請求項（抜粋）：

単結晶シリコンからなりノズル開口に連通する圧力発生室が画成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記流路形成基板の他方面側に接合基板が接合されていると共に、前記圧力発生室の前記接合基板側には当該圧力発生室の振動板とは反対側の面を画成する充填層を有することを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (25件)：

2C057AF40 ,  2C057AF68 ,  2C057AF93 ,  2C057AG16 ,  2C057AG39 ,  2C057AG44 ,  2C057AG52 ,  2C057AG55 ,  2C057AG75 ,  2C057AN01 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP23 ,  2C057AP25 ,  2C057AP28 ,  2C057AP32 ,  2C057AP34 ,  2C057AP52 ,  2C057AP56 ,  2C057AP57 ,  2C057AP79 ,  2C057AQ02 ,  2C057AQ10 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14