特許
J-GLOBAL ID：200903089010146778
水酸化テトラアルキルアンモニウムの再生方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
米澤 明 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-172831
公開番号（公開出願番号）：特開平5-017889
出願日： 1991年07月12日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：
【要約】【目的】 ポジ型フォトレジストの現像液として使用される水酸化テトラアルキルアンモニウムを現像液の廃液から再生する。【構成】 水酸化テトラアルキルアンモニウムを主成分とするポジ型フォトレジストの現像液の廃液を中和処理して、溶存しているアルカリ可溶性の有機物を析出させて除去した後に、さらに有機物を酸化分解によって低減した後に、陽イオン交換膜で区画した電解槽の陽極室において電気分解をすることによって現像液として再利用することができる水酸化テトラアルキルアンモニウムを再生する。
請求項（抜粋）：
有機物を不純物として含んだ使用済みのテトラアルキルアンモニウムの化合物を含む水溶液を中和処理し、分離膜により不溶性成分を除去した後に陽イオン交換膜で区画した電解槽の陽極室において電解し、陰極室より高純度の水酸化テトラアルキルアンモニウムを得ることを特徴とする水酸化テトラアルキルアンモニウムの再生方法。
IPC (3件)：
C25B 3/02
, G03F 7/26
, H01L 21/027
