特許

J-GLOBAL ID：200903089017711250

石英ガラス膜付き基板の製造方法

発明者： 八木 健 ,  鈴木 好久 ,  吉田 和昭 ,  山根 正之
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社 ,  山根 正之
代理人 (1件)： 長門 侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-339249
公開番号（公開出願番号）：特開平9-175897
出願日： 1995年12月26日
公開日（公表日）： 1997年07月08日
要約：

【要約】【課題】 ゾル-ゲル法によって、短時間で石英ガラス膜付き基板を製造する方法を提供する。【解決手段】 底部に基板3が配置されている容器1の中に、水より比重の小さい溶媒にシリコンアルコキシドが溶解して成るシリコンアルコキシド溶液6と水5とを、両者の界面が前記基板の上面3aよりも上方に位置するように収容し、界面の近傍に生成するゲル層7を基板3の上面3aにゲル膜として移転させ、ついで、ゲル膜を乾燥したのち焼成して石英ガラス化する石英ガラス膜基板の製造方法において、シリコンアルコキシド溶液5にアミン類のような塩基性有機触媒を添加する。

請求項（抜粋）：

底部に基板が配置されている容器の中に、水よりも比重の小さい溶媒にシリコンアルコキシドが溶解して成るシリコンアルコキシド溶液と水とを、両者の界面が前記基板の上面よりも上方に位置するように収容し、前記界面の近傍に生成するゲル層を前記基板の上面にゲル膜として移転させ、ついで、前記ゲル膜を乾燥したのち焼成して石英ガラス化する石英ガラス膜付き基板の製造方法において、前記シリコンアルコキシド溶液に塩基性有機触媒を添加することを特徴とする石英ガラス膜付き基板の製造方法。

IPC (7件)：

C30B 29/18 ,  B01J 31/02 102 ,  C01B 33/12 ,  C03B 8/02 ,  C03B 19/12 ,  C03C 17/02 ,  C23C 18/12

FI (7件)：

C30B 29/18 ,  B01J 31/02 102 M ,  C01B 33/12 C ,  C03B 8/02 ,  C03B 19/12 ,  C03C 17/02 B ,  C23C 18/12