特許
J-GLOBAL ID:200903089019310708

活性エネルギー線硬化型レジスト用組成物

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-361883
公開番号(公開出願番号):特開2000-235259
出願日: 1999年12月20日
公開日(公表日): 2000年08月29日
要約:
【要約】【課題】硬化物の耐熱性及び耐薬品性に優れる活性エネルギー線硬化型のレジスト用組成物、特にソルダーレジストに適した組成物の提供。【解決手段】エチレン性不飽和基と特定構造の環状イミド基を有する化合物の5〜90重量%とエチレン性不飽和単量体の95〜10重量%を構成単位とする共重合体及び2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物からなる活性エネルギー線硬化型レジスト用組成物。
請求項(抜粋):
(A)エチレン性不飽和基と下記一般式(1)で表される環状イミド基を有する化合物の5〜90重量%及びこれと共重合体可能なエチレン性不飽和単量体の95〜10重量%を構成単量体単位とする共重合体及び(B)2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物からなる活性エネルギー線硬化型レジスト用組成物。【化1】〔但し、式(1)において、R1及びR2は、それぞれ独立した炭素数4以下のアルキル基であるか、どちらか一方が水素原子で他方が炭素数4以下のアルキル基であるか、又はそれぞれが一つとなって炭素環を形成する基である。〕
IPC (6件):
G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/037 501 ,  H05K 3/00 ,  C08F 20/36
FI (6件):
G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/037 501 ,  H05K 3/00 F ,  C08F 20/36
引用特許:
審査官引用 (7件)
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