活性エネルギー線硬化型レジスト用組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-361883
公開番号（公開出願番号）：特開2000-235259
出願日： 1999年12月20日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
要約：

【要約】【課題】硬化物の耐熱性及び耐薬品性に優れる活性エネルギー線硬化型のレジスト用組成物、特にソルダーレジストに適した組成物の提供。【解決手段】エチレン性不飽和基と特定構造の環状イミド基を有する化合物の5〜90重量%とエチレン性不飽和単量体の95〜10重量%を構成単位とする共重合体及び2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物からなる活性エネルギー線硬化型レジスト用組成物。

請求項（抜粋）：

(A)エチレン性不飽和基と下記一般式(1)で表される環状イミド基を有する化合物の5〜90重量%及びこれと共重合体可能なエチレン性不飽和単量体の95〜10重量%を構成単量体単位とする共重合体及び(B)2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物からなる活性エネルギー線硬化型レジスト用組成物。【化1】〔但し、式(1)において、R1及びR2は、それぞれ独立した炭素数4以下のアルキル基であるか、どちらか一方が水素原子で他方が炭素数4以下のアルキル基であるか、又はそれぞれが一つとなって炭素環を形成する基である。〕

IPC (6件)：

G03F 7/027 502 , G03F 7/027 514 , G03F 7/033 , G03F 7/037 501 , H05K 3/00 , C08F 20/36

FI (6件)：

G03F 7/027 502 , G03F 7/027 514 , G03F 7/033 , G03F 7/037 501 , H05K 3/00 F , C08F 20/36

引用特許：

審査官引用 (7件)

感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-182133 出願人：岡本化学工業株式会社
感光性平版印刷版
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-057539 出願人：富士写真フイルム株式会社
感光性平版印刷版
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-086819 出願人：富士写真フイルム株式会社

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