特許

J-GLOBAL ID：200903089020988483

表面検査装置

発明者： 渡邊 孝宏
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 高野 明近 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-191647
公開番号（公開出願番号）：特開平9-042943
出願日： 1995年07月27日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：

【要約】【課題】 複数の円筒体により支持されるシート状の被検査体を撮像することによる表面検査において、該円筒体に密着した部分でシートを撮像することを望ましい方法とした上で、円筒体表面に異物が付着した場合の誤検査を解決する。【解決手段】 シート状の被検査体1、例えば感光体ベルトなどを円筒体2,3により伸張する。円筒体2は、駆動ベルト32により回転駆動し、被検査体1は定速で移動する。円筒体3表面上に密着した被検査体1の表面を照明手段53で照射し、レンズ系51およびCCD52からなる撮像手段にて撮像する。得られた画像を適宜画像処理して、被検査体表面の欠陥の有無を検査するブレード71はその先端を円筒体3表面に接触させ、異物を除去するので誤検査の原因がなくなる。

請求項（抜粋）：

シート状の被検査体を支持する複数の円筒体と、該円筒体を回転させる駆動手段と、前記被検査体の表面を照明する照明手段と、前記被検査体の表面を撮像する撮像手段とを備え、該撮像手段により得られた画像データを処理することで前記被検査体表面の欠陥の有無を判定する表面検査装置において、被検査体を支持する前記円筒体表面に付着する異物を除去する異物除去手段を設けたことを特徴とする表面検査装置。