特許
J-GLOBAL ID：200903089028300626
電磁誘導式リニアスケール
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-031001
公開番号（公開出願番号）：特開平6-241832
出願日： 1993年02月22日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：
【要約】【目的】測定時の零点調整を行うことなく、スライダの変位を高い分解能で測定できるアブソリュート型の磁気誘導式リニアスケールを提供する。【構成】励磁コイルを搭載したスケール1と、互いに位相を1/4ピッチずらした2組の検出コイル4,5を搭載したスライダ2とを対向配備してスライダの直線変位を測定する電磁誘導式リニアスケールにおいて、スケールには第1の励磁コイル7と、スケールの長手方向に沿ってコイル辺長の分布を相対的に変え、かつ相互間に180 ゚位相差を設定して配列した第2,第3の励磁コイル8,9を搭載し、第2,第3の励磁コイルに対する検出コイルの誘起電圧から求めたステップ位置情報と、第1の励磁コイルに対する誘起電圧から求めたピッチ内位置情報とを加算してスライダの基準点からの変位(絶対位置)を測定する。
請求項（抜粋）：
測定長に対応した長さの励磁コイルを搭載したスケールと、互いに位相を1/4ピッチずらした2組の検出コイルを搭載したスライダとを向かい合わせに近接配備し、前記検出コイルの誘起電圧を基にスライダの直線変位を測定する電磁誘導式リニアスケールにおいて、スケールには第1の励磁コイルと、スケールの長手方向に沿ってコイル辺長の分布を相対的に変え、かつ相互間に位相差を設定して配列した第2,第3の励磁コイルを搭載し、第2,第3の励磁コイルの励磁周波数に対応する検出コイルの誘起電圧から得たコイルピッチの整数倍に相当するステップ位置の情報と、第1の励磁コイルの励磁周波数に対応する検出コイルの誘起電圧から得たピッチ内位置の情報とを加算してスライダの変位を測定することを特徴とする電磁誘導式リニアスケール。
IPC (3件)：
G01D 5/245 101
, G01D 5/245
, G01B 7/00
