特許
J-GLOBAL ID：200903089031327985
圧力センサの洗浄装置及びその洗浄方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-104125
公開番号（公開出願番号）：特開平10-294472
出願日： 1997年04月22日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：
【要約】【課題】 粉塵が発生することなく、ガラス台座表面に析出したNa化合物を洗浄することのできる圧力センサの洗浄装置及びその洗浄方法を提供する。【解決手段】 漕3の側面の所望の箇所には、水位レベルを一定にするための排水口3aが形成されており、圧力センサチップが接合されたガラス台座2を挿入する開口部4aが形成され、開口部4aにおける漕3の底面側に、ガラス台座2を開口部4aに挿入した際にガラス台座2を保持する保持部材4bと、水や湯等の液体5を漕3内に注水する注水口4cとを有して成る固定治具4が、漕3の底面と略平行となるように漕3の内面に固定されている。このとき、開口部4aにガラス台座2を挿入して、注入口4cから液体5を注入した際に、圧力センサチップまで水面が到達しないように固定治具4が漕3内に配置されている。そして、開口部4aに圧力センサチップが接合されたガラス台座2を挿入して保持部材4bによりガラス台座2を保持する。ここで、注入口4cから液体5を注入し、ガラス台座2における圧力センサチップが接合されていない方の面を液体5に浸漬させる。
請求項（抜粋）：
圧力センサチップと該圧力センサチップが接合されたガラス台座とから成る圧力センサにおける前記ガラス台座の接合面と異なる面側に析出したナトリウム化合物を液体により除去する圧力センサの洗浄装置であって、液体を貯める漕と、前記ガラス台座の接合面と異なる面側を挿入するための開口部と該開口部に前記ガラス台座を挿入した際に該ガラス台座を保持する保持部材と液体を注入するための注入口とを有して成る固定治具とを有し、前記開口部に前記ガラス台座を挿入して前記保持部材により該ガラス台座を保持した際に、前記漕に貯められた液体中に前記圧力センサチップが浸漬せず、かつ、前記ガラス台座の接合面と異なる面側が浸漬するように前記固定治具を前記漕内に配置したことを特徴とする圧力センサの洗浄装置。
IPC (4件)：
H01L 29/84
, B08B 3/08
, G01L 9/04 101
, H01L 21/304 341
H01L 29/84 Z
, B08B 3/08 A
, G01L 9/04 101
, H01L 21/304 341 M
