観察装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大森聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-332933
公開番号（公開出願番号）：特開平9-179033
出願日： 1995年12月21日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】簡単な構成で組立調整が容易な透過照明系を備えた観察装置を提供する。【解決手段】光ファイバ束1Cの射出口2Cの輪帯状の発光部から射出された照明光ILCは、リレーレンズ21、ハーフミラー12、開口絞り11、及び第1対物レンズ10を介して、光透過性の基板8の被検面HP上の被検物9の周囲の輪帯状の光束通過領域23を臨界照明する。その光束通過領域23から基板8を透過した照明光ILCは、反射型コンデンサレンズ22によって集光されつつ反射面22aで反射された後、再び反射型コンデンサレンズ22で集光されて基板8を透過して、被検面HP上の光束通過領域23の内側の円形の被検領域をケーラ照明方式で均一に照明する。

請求項（抜粋）：

光透過性の基板に支持された被検物を照明する照明光学系と、前記被検物からの照明光を集光する対物レンズを含み、前記被検物の像を形成する結像光学系と、を有する観察装置において、前記照明光学系は、照明光で前記対物レンズ側から前記基板上の被検領域外の光束通過領域を照明する第1照明光学系と、前記基板に関して前記対物レンズに対向して配置された反射部材を含み、前記被検領域外の光束通過領域を通過した照明光を反射して前記被検領域に集光する第2照明光学系と、を備えたことを特徴とする観察装置。

IPC (3件)：

G02B 21/06 , G02B 21/04 , H01L 21/027

FI (3件)：

G02B 21/06 , G02B 21/04 , H01L 21/30 510

引用特許：

審査官引用 (1件)

落射式位相差顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-007196 出願人：三菱重工業株式会社

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