特許
J-GLOBAL ID：200903089039901877
インクジェットヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-110344
公開番号（公開出願番号）：特開平6-320723
出願日： 1993年05月12日
公開日（公表日）： 1994年11月22日
要約：
【要約】【目的】 薄膜製造法で形成された圧電素子に電気エネルギーを供給する電極を櫛歯構造にすることで、歩留りを向上させるとともにエネルギー効率を向上させ、安価で効率のよいインクジェットヘッドを提供する。【構成】 基板9上に成膜した振動板5上に薄膜圧電素子6を成膜する。次に共通電極83と信号電極84となる電極層を成膜し、パターニングを行うことによって櫛歯状部11を有する共通電極83及び信号号電極84を形成する。更に基板9を加工し、圧力室1、流路4を形成後、複数のノズル2を有するノズルプレート21を接着し、インクジェットヘッドを得る。
請求項（抜粋）：
少なくとも複数のノズルと、該ノズルに対応した複数の圧力室と、圧力室の一部に形成された振動板と、振動板を変形させて圧力室に圧力を発生させる圧電素子と、前記圧電素子に個々に接続され、電気エネルギーを供給する信号電極と、前記圧電素子に共通に接続された共通電極を有するインクジェットヘッドに於いて、前記圧電素子に接続された前記信号電極及び共通電極が櫛歯状構造であることを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (2件)：
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