走査型プローブ顕微鏡のデジタル制御方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-049717
公開番号（公開出願番号）：特開平6-265341
出願日： 1993年03月10日
公開日（公表日）： 1994年09月20日
要約：

【要約】【目的】走査型プローブ顕微鏡に於ける探針位置制御方法において分解能を向上させる。【構成】走査型プローブ顕微鏡のデジタル制御方法において、探針位置制御の為の制御部102と試料表面像データを算出する為の制御部108とを具備し、試料表面像信号を増幅する為に検出信号S1に可変ゲイン増幅器を設ける。

請求項（抜粋）：