特許

J-GLOBAL ID：200903089052195523

防汚性を有する光学部品及びこれを備えた露光装置

発明者： 村田 剛
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-253748
公開番号（公開出願番号）：特開2001-072921
出願日： 1999年09月08日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
要約：

【要約】【課題】 光学部品の防汚性を向上させる。【解決手段】 本発明の光学部品は、基材と、該基材の最上層にパーフルオロアルキル基を少なくとも1つ有するパーフルオロシクロアルカンを出発原料としプラズマ重合法により形成された重合膜を備えるものである。

請求項（抜粋）：

基材と、該基材の最上層にパーフルオロアルキル基を少なくとも1つ有するパーフルオロシクロアルカンを出発原料としプラズマ重合法により形成された重合膜を備えることを特徴とする光学部品。

IPC (4件)：

C09D165/00 ,  G02B 1/10 ,  H01L 21/027 ,  C08G 67/00

FI (4件)：

C09D165/00 ,  C08G 67/00 ,  G02B 1/10 Z ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (17件)：

2K009AA02 ,  2K009BB02 ,  2K009CC03 ,  2K009CC06 ,  2K009DD03 ,  2K009DD17 ,  2K009EE05 ,  4J005AA09 ,  4J005BA00 ,  4J038CD091 ,  4J038JA12 ,  4J038NA05 ,  4J038PB08 ,  5F046BA03 ,  5F046CB01 ,  5F046CB17 ,  5F046CB19