特許

J-GLOBAL ID：200903089056937761

弾性表面波素子の製造方法

発明者： 伊折 和成
出願人/特許権者： 株式会社大真空
代理人 (1件)： 西田 新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-237985
公開番号（公開出願番号）：特開平6-085592
出願日： 1992年09月07日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：

【要約】【目的】 挿入損失が少なく、かつ、反射器の格子数が少なく小型化が可能な弾性表面波素子を、簡単な工程のもとに高精度に製造することのできる方法を提供する。【構成】 圧電性基板の表面に、1回のフォトリソグラフィ工程によりAlまたはその合金からなるIDTおよび反射器を同時に形成した後、反射器の表面に、Alまたはその合金よりも比重の大きい金属をメッキする。

請求項（抜粋）：

圧電性基板の表面に、1回のフォトリソグラフィー工程によりアルミニウムまたはその合金からなるインターデジタルトランスジューサおよび反射器を同時に形成した後、上記反射器の表面に、アルミニウムまはたその合金よりも比重の大きい金属をメッキすることを特徴とする弾性表面波素子の製造方法。