特許
J-GLOBAL ID：200903089074923700
連続湿式サンドブラスト加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
森 正澄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-284964
公開番号（公開出願番号）：特開平5-116070
出願日： 1991年10月30日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：
【要約】【目的】 ブラストムラを低減する。【構成】 所定の速度で搬送される被加工基板に向け噴射ノズルにより研磨材を噴射し被加工基板の表面のブラスト処理を連続的に行なう連続湿式サンドブラスト加工装置において、前記被加工基板の上方に、当該被加工基板の搬送方向と直交する幅方向へ揺動可能に設けられた支持体と、この支持体に、前記被加工基板の幅方向に互いに等間隔に、且つ、各先端を前記被加工基板と所定距離を隔てて配設された複数の噴射ノズルと、前記支持体と駆動装置との間に介装され、当該駆動装置の回転運動を前記被加工基板の幅方向の一定速度の揺動運動に変換する変換手段と、を備えた。
請求項（抜粋）：
所定の速度で搬送される被加工基板に向け噴射ノズルにより研磨材を噴射し被加工基板の表面のブラスト処理を連続的に行なう連続湿式サンドブラスト加工装置において、前記被加工基板の上方に、当該被加工基板の搬送方向と直交する幅方向へ揺動可能に設けられた支持体と、この支持体に、前記被加工基板の幅方向に互いに等間隔に、且つ、各先端を前記被加工基板と所定距離を隔てて配設された複数の噴射ノズルと、前記支持体と駆動装置との間に介装され、当該駆動装置の回転運動を前記被加工基板の幅方向の一定速度の揺動運動に変換する変換手段と、を備えたことを特徴とする連続湿式サンドブラスト加工装置。
IPC (2件)：
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