特許
J-GLOBAL ID:200903089078053735
積層型インクジェット式記録ヘッド、及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
木村 勝彦 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-269186
公開番号(公開出願番号):特開平8-169111
出願日: 1995年09月22日
公開日(公表日): 1996年07月02日
要約:
【要約】【課題】 圧電振動板の焼成にともなう流路形成部材のそりを防止すること。【解決手段】 弾性板2により一方の面が封止されて圧力発生室4を形成する圧力発生室形成部材7、圧力発生室4へのインク供給路に流路抵抗を付与する流路制限孔60を備えた流路制限板61、流路制限孔60を介して各圧力発生室4に連通する共通のインク室19を備えた共通のインク室形成板18をそれぞれセラミックスのグリーンシートを順番に積層して焼成して、接着剤層を介することなく一体に固定して流路形成部材を構成する。そして弾性板2の表面に圧電材料のグリーンシートを貼着し、これを焼成して圧電振動板3を弾性板2に作り付ける。流路構成部材の強度が大きく、圧電材料の焼成に伴う収縮に起因する反りが防止される。また流路部材を構成する部材の通孔を修正加工が容易なグリーンシートの段階で修正が可能となる。
請求項(抜粋):
表面に圧電振動板を有して振動部材を形成するセラミック製の弾性板、前記弾性板により一方の面が封止されて圧力発生室を形成するセラミックス製の圧力発生室形成部材、前記圧力発生室へのインク供給路に流路抵抗を付与する流路制限孔を有するとともに、前記圧力発生室と連通する連通孔を備えたセラミックス製の流路制限板、前記流路制限孔を介して前記各圧力発生室に連通する共通のインク室、及び前記圧力発生室に連通する連通孔とを備えたセラミックス製の共通のインク室形成板、をそれぞれ順番に積層して接着剤層を介することなく一体に固定するとともに、前記弾性板の圧力発生室に対向する位置に圧電振動板を固定し、前記共通のインク室形成板の他面を前記圧力発生室に接続するノズル開口を備えた金属製のノズルプレートにより封止してなる積層型インクジェット式記録ヘッド。
IPC (3件):
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
FI (2件):
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
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