形状測定方法及び形状測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-221250
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062136
出願日： 1996年08月22日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】【課題】干渉計測定の光軸の重力に対する角度を、垂直あるいは水平、あるいは任意に設定でき、さらには該設定角度を維持するとともに容易に変更することもできる測定方法と装置を提供する。【解決手段】本発明の形状測定装置1は、測定対象物5及び干渉計3を載せる定盤9と、ベースの角度調節機構(空気バネ11)と、重力方向検出手段(プリズム7、セオドライト17)を備えている。干渉計3と測定対象物5の相対位置関係を保持したまま、定盤9の重力方向に対する角度を任意に調節可能である。

請求項（抜粋）：

干渉等の原理によって物体の形状を測定する方法であって、測定器と測定対象物の相対位置関係を保持したまま、該測定器と測定対象物の姿勢を重力方向に対して任意に調節したうえで形状測定することを特徴とする形状測定方法。

IPC (3件)：

G01B 11/24 , G01B 9/02 , G12B 5/00

FI (3件)：

G01B 11/24 D , G01B 9/02 , G12B 5/00 A

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