化学的/機械的研磨システムに用いる保持リングを備えたキャリヤヘッド

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-548126
公開番号（公開出願番号）：特表2002-514517
出願日： 1999年04月29日
公開日（公表日）： 2002年05月21日
要約：

【要約】キャリヤヘッド100は、傾斜内側面150を有する保持リング108を備え、化学的/機械的に研磨する。保持リング108には研磨時に研磨パッド32の面34に接触できる下面142がある。下面142は実質上平坦でよく、あるいは保持リングの外側面144からスラリを基板まで搬送する溝又はチャンネル若干数を備えてもよい。保持リング108の内側面140には、下方に伸び保持リング端縁部146で下面142に合体する傾斜部分150が含まれる。内側面140には通常、垂直に伸びる部分152と、この垂直部分152を傾斜部分150に合体させる張り出し部154をも含めることができる。傾斜内側面150に加わる基板の端縁部の力は、基板10の端縁部に垂直成分が作用する反力を発生させる。この垂直方向の力は、端縁部効果を軽減することができる。

請求項（抜粋）：

化学的/機械的研磨システムに用いるキャリヤヘッドであって、基板装着面と、基板を前記装着面の直下に維持する保持リングとを備え、前記保持リングは、傾斜領域を備えた内側面を有し、前記基板が前記装着面に接して配され、前記基板の端縁部に垂直成分が加わる力を印加すべく研磨が行われようとするとき、前記傾斜領域が前記基板の前記端縁部に接触するように位置決めされるキャリヤヘッド。

IPC (3件)：

B24B 37/04 , B24B 41/06 , H01L 21/304 622

FI (3件)：

B24B 37/04 E , B24B 41/06 L , H01L 21/304 622 G

Fターム (11件)：

3C034AA07 , 3C034BB71 , 3C034CB08 , 3C034DD10 , 3C058AA07 , 3C058AA12 , 3C058AB04 , 3C058CB03 , 3C058CB10 , 3C058DA12 , 3C058DA17

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