特許
J-GLOBAL ID：200903089093293068
感放射線性レジスト組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-191838
公開番号（公開出願番号）：特開平7-028230
出願日： 1993年07月07日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【目的】 組成物に配合される界面活性剤がろ過時にフィルターに吸着されることがないため、ストリエーションを生じることがなく、常に均一な膜厚を有する塗膜を安定して形成することができるとともに、現像性にも優れた新規な感放射線性レジスト組成物を提供する。【構成】 炭素数が6以上のパーフルオロアルケニル基を分子内に有する界面活性剤を含有することを特徴とする感放射線性レジスト組成物。
請求項（抜粋）：
炭素数が6以上のパーフルオロアルケニル基を分子内に有する界面活性剤を含有することを特徴とする感放射線性レジスト組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/004 504
, G03F 7/039 501
, H01L 21/027
