特許

J-GLOBAL ID：200903089094434358

光波干渉装置の被検体ポジショニング装置

発明者： 金谷 元徳
出願人/特許権者： 富士写真光機株式会社
代理人 (1件)： 川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-116933
公開番号（公開出願番号）：特開平9-280813
出願日： 1996年04月15日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【目的】 可干渉距離の短い光を用いた光波干渉装置において、第1の集光レンズを被検光光束内で、その焦点位置が被検面の干渉可能範囲内に、かつ第2の集光レンズを第1の集光レンズの光軸上で、合波後の観察光路内に各々設定することにより被検面全体を干渉可能範囲に容易に位置設定する。【構成】 光路内に、上記干渉可能範囲6内に焦点位置Fを有する3つの集光レンズ9a,9b,9cからなる第1の集光レンズ、およびこの第1の集光レンズの各々と共通な光軸を有する3つの集光レンズ39a,39b,39cからなる第2の集光レンズを配設している。被検面5aが干渉可能範囲6内に位置するときはスクリーン38上に点状の光スポットが形成され、この透過型スクリーン38の裏面側からこのスクリーン38の表面上に形成された光スポットの径の大きさを観察することにより、被検面5aが干渉可能範囲内にあるか否かを明確に、しかも簡単に判断することが可能となる。

請求項（抜粋）：

光源からの光を2系に分割し、一方を被検体の被検面上に、他方を参照面上に照射し、該被検面からの被検光と該参照面からの参照光を合波し、その干渉により生じる干渉縞を観察し、該観察結果に基づき該被検面の表面形状を測定する光波干渉装置において、前記光の可干渉距離を、前記被検体の厚みの2倍に比べ短い距離とし、前記光の分割位置と、前記被検面の干渉可能範囲位置との間の光路内に、該干渉可能範囲内に焦点位置を有する第1の集光レンズを配設するとともに、前記被検光と参照光を合波した後の光路内に前記第1の集光レンズと共通の光軸を有する第2の集光レンズを配設し、該第2の集光レンズの焦点位置における光像を観察するように構成されてなることを特徴とする光波干渉装置の被検体ポジショニング装置。