超電導測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-116946
公開番号（公開出願番号）：特開平6-244467
出願日： 1993年05月19日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：

【要約】【目的】容易に極低温である77K近辺以下まで冷却することができ、超電導素子の超電導現象を再現でき、超電導素子を高感度センサーとしてエレクトロニクス分野での一般利用を可能とするコンパクトな超電導測定装置を提供する。【構成】超電導素子を内蔵したパッケージ素子44を搭載する冷却部13を備え、この冷却部13を含む冷却器を、スターリングサイクルに従う冷媒の状態変化によって冷却部13を冷却するスターリング冷却器とした。

請求項（抜粋）：

超電導現象を示す超電導素子と、この超電導素子を搭載する冷却部と、この冷却部を冷却する冷却器とを備えた超電導測定装置において、上記冷却器はスターリングサイクルに従う冷媒の状態変化によって、上記冷却部を冷却するスターリング冷却器であることを特徴とする超電導測定装置。

IPC (2件)：

H01L 39/04 ZAA , G01R 33/035 ZAA

引用特許：

審査官引用 (16件)

特開平2-298765
特開平2-098979
特開昭63-276281

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