感光性樹脂組成物及び感光性エレメント

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：長谷川芳樹 , 清水義憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-149737
公開番号（公開出願番号）：特開2009-294538
出願日： 2008年06月06日
公開日（公表日）： 2009年12月17日
要約：

【課題】厚膜での像形成が可能であり、且つ吸水性が十分に低い、層間絶縁膜等の用途に好適に用いられる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】(A)主鎖に炭素数5〜20のアルキレン鎖又は脂環式骨格を有するポリアミック酸と、(B)ビニル基含有エポキシ樹脂を有する光重合性化合物と、(C)光重合開始剤とを含む感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)主鎖に炭素数5〜20のアルキレン鎖又は脂環式骨格を有するポリアミック酸と、 (B)ビニル基含有エポキシ樹脂を有する光重合性化合物と、 (C)光重合開始剤と、を含む感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/037 , G03F 7/027 , G03F 7/004 , H01L 21/027 , C08G 73/10 , C08G 59/16

FI (6件)：

G03F7/037 501 , G03F7/027 515 , G03F7/004 512 , H01L21/30 502R , C08G73/10 , C08G59/16

Fターム (47件)：

2H025AA00 , 2H025AB11 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC34 , 2H025BC43 , 2H025BC45 , 2H025BC74 , 2H025CA05 , 2H025CA07 , 2H025CB25 , 2H025CC06 , 2H025CC17 , 2H025FA17 , 4J036AD08 , 4J036AF06 , 4J036AF08 , 4J036AF36 , 4J036CA21 , 4J036FB14 , 4J036JA09 , 4J043PA02 , 4J043PA19 , 4J043PC016 , 4J043PC116 , 4J043QB15 , 4J043QB26 , 4J043QB31 , 4J043RA05 , 4J043SA06 , 4J043SB01 , 4J043TA14 , 4J043TA22 , 4J043TB01 , 4J043UA041 , 4J043UA091 , 4J043UA121 , 4J043UA672 , 4J043UB011 , 4J043UB012 , 4J043VA022 , 4J043VA062 , 4J043ZA04 , 4J043ZA21 , 4J043ZB22

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭61-243869号公報
特開平1-141904号公報
樹脂組成物及びこの樹脂組成物を含有する被膜形成材料
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-176315 出願人：日立化成工業株式会社

全件表示

前のページに戻る