特許
J-GLOBAL ID：200903089118037835
カセット検知機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-296412
公開番号（公開出願番号）：特開平10-144756
出願日： 1996年11月08日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：
【要約】【課題】 センサケーブルの断線を回避し、さらにロボットアームのコンパクト化を実現できるカセット検知機構を提供する。【解決手段】 基台1と、この基台1に支持したアーム2,4と、このアーム4の先端にカセット8を載置する支持台9を設けたカセット検知機構において、支持台9にはカセットの重量で下降するフラグ11を設け、一方、支柱1aには上記フラグの下降を検出するフォトセンサ20を設け、カセット移載用ロボットアーム上にあるカセットの有無検知をロボットアーム内にセンサケーブルを通すことなく外部的に行う。
請求項（抜粋）：
基台と、この基台に支持したアームと、このアームの先端にカセットを載置する支持台を設けたロボットアームにおいて、支持台にはカセットの重量で下降するフラグを設け、一方、支柱には上記フラグの下降を検出するフォトセンサを設け、カセット移載用ロボットアーム上にあるカセットの有無検知をロボットアーム内にセンサケーブルを通すことなく外部的に行うことを特徴とするカセット検知機構。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 L
