特許
J-GLOBAL ID：200903089124561988
成膜マスク装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-340328
公開番号（公開出願番号）：特開平8-176800
出願日： 1994年12月27日
公開日（公表日）： 1996年07月09日
要約：
【要約】【目的】 磁力を用いることにより組立性の良好にし、水晶板等の被成膜形成体が薄型化され、あるいは成膜が微細化した場合でも所望の成膜状態を得ることができる成膜マスク装置を提供する。【構成】 成膜マスク装置は最下部から、マスク押さえ下板1、磁石を収納する磁石保持板2、下部マスク3、水晶板を収納するスペーサ4、上部マスク5、マスク押さえ板6からなる。下部マスク3には複数の水晶板Bの所定の位置に対応する下部マスクパターン31・・・が水晶板個々に対応して複数個形成されているとともに、磁石保持板の磁石の配置された上部に対応する位置に、その磁力をスペーサ4等に伝える小孔を多数個集中して形成した多小孔部35が形成されている。
請求項（抜粋）：
被成膜形成体を複数個収納する収納孔を形成し、被成膜形成体をこの収納孔に収納した磁性体からなるスペーサと、このスペーサの上面に密着配置され、成膜形成用の上部マスクパターンが形成された上部マスクと、このスペーサの下面に密着配置され、成膜形成用の下部マスクパターンが形成された下部マスクと、下部マスクの下面に密着配置され、前記下部マスクパターンを露出させる貫通孔を有するとともに、磁石を収納する磁石収納部を複数有する磁石保持板とを少なくとも有する成膜マスク装置において、前記磁石が収納された磁石収納部の上部に位置する下部マスク部分に、スペーサへ磁力を伝える多小孔部を形成したことを特徴とする成膜マスク装置。
IPC (2件)：
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