特許

J-GLOBAL ID：200903089126203582

荷電粒子線露光装置

発明者： 中筋 護
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-189999
公開番号（公開出願番号）：特開平6-013300
出願日： 1992年06月24日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：

【要約】【目的】 高速且つ高精度にアライメントを行う。【構成】 スリットパターンが不等間隔に配列されたアライメントマーク25の上を同一形状の計測用パターンの投影像21PでY方向に走査する。投影像21Pとアライメントマーク25とが全部合致したときに検出信号S1は最大になり、投影像21Pとアライメントマーク25とが一部重なっただけでは検出信号S1のレベルは小さいため、高速に且つ高いSN比でアライメントマークの検出ができる。

請求項（抜粋）：

荷電粒子線を発生する荷電粒子線源と、ターゲットが載置されると共に該ターゲットを位置決めする試料台と、複数本のスリット状開口を配設してなる計測用開口パターンと転写用の開口パターンとが配列された荷電粒子線透過マスクと、前記発生された荷電粒子線を前記計測用開口パターン又は前記転写用の開口パターン上に導く第1の手段と、前記荷電粒子線透過マスクを透過した荷電粒子線をターゲット上で走査又は位置決めする第2の手段と、前記ターゲットからの荷電粒子線を検出する検出手段と、を有し、前記ターゲット上のアライメントマーク上で前記計測用開口パターンの像を走査して前記ターゲットの位置検出を行う事を特徴とする荷電粒子線露光装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-144119
  
• 特開昭60-017918
  
• 特開昭59-220922
  
• 特開平4-155814