ガス中の微量水分測定装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：湯浅恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-357406
公開番号（公開出願番号）：特開平5-296927
出願日： 1991年12月01日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：

【要約】【目的】本発明は予め冷却をしない被測定ガスを、冷却されている反射鏡に直接接触させて、反射鏡上に露または霜を発生させて、それの後、昇華点、積層凝固点を測定することによって、露点、霜点を、ガス中の水分を測定する。【構成】熱伝導性の良い材料から構成されているA室と少なくとも1部が熱伝導性の良くない材料から構成されているB室からなる、A室とB室との境界壁に穴が形成され、B室内にその穴に被さるように反射鏡が設置されている。被測定ガスはヒーターによって、常温に近い適当な温度に制御されたA室に入り、反射鏡に接触し、B室の出口から排出されるが、測定ガスが、A室とB室の間に設置された反射鏡面に十分に接触し、平衡に近い状態で露及び/又は霜の変化を正確に検知される。

請求項（抜粋）：

-80°C以下のガス中の露点又は霜点を測定する装置であり、その装置は下記を含む:(i) 熱伝導性が良い材料から構成されているA室、(ii) 被測定ガス用入口がA室に設けられ、(iii) A室の温度を調節するためのヒータと、温度センサーが設けられ、(iv) A室に隣接してB室が設けられ、B室の少なくとも1部は熱伝導性のよくない材料から構成され、(v) A室とB室との境界の面部に穴又はノズルが設けられ、(vi) B室に穴またはノズルに被さるように、温度センサーを有する反射鏡が設けられ、その反射鏡は温室から-80°C以下の温度まで、自由に温度変動が可能なように冷凍源に熱的に接続されており、(vii) B室にはガス出口が設けられ、(viii) その穴又はノズルと、その反射鏡との間にわずかな隙間が形成されており、(ix) 反射鏡面上に反射される集光光線又はレーザー光発射装置が具備されており、(x) 反射鏡面上に形成された霜に向けて、集光光線又はレーザー光線を、投射することにより、散乱光及び/又は反射光の変化を検知する受光装置、および、(xi) 反射鏡上に形成される露及び/又は霜が発生した温度を判断する検知装置。

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