特許
J-GLOBAL ID：200903089130203651
走査型近接場光顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-020575
公開番号（公開出願番号）：特開平8-220112
出願日： 1995年02月08日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：
【要約】【目的】光学顕微鏡観察とSNOM観察を行なえる走査型近接場光顕微鏡を提供する。【構成】支持部材12にはこれを支持する三本の支柱14が設けられている。支持部材12には中央にアーム16が設けられており、プローブ微動機構18が取り付けられている。プローブ微動機構18にはファイバープローブ20が取り付けられており、ファイバープローブ20は光電子増倍管22に連結されている。支持部材12には光源位置調整ステージ28を介してレーザー光源24が取り付けられ、その下に略L字形状の第一プリズムカップリング光学系32が配置されている。その反対側には第一プリズムカップリング光学系32と面対称な略L字形状の第二プリズムカップリング光学系38が設けられており、その上に光源24の射出光をモニターするためのフォトディテクター30が設けられている。
請求項（抜粋）：
光源と、光源の射出する光を光学的に透明な板状の試料台に載せられた試料に試料台の内部から全反射する角度で照射する照射光学系とを有し、これにより試料表面に局在するエバネッセント波が発生し、先端に微小な開口を有する光学的に透明なプローブを更に有し、プローブの先端がエバネッセント波の領域に侵入すると、エバネッセント波はプローブの内部を伝搬する伝搬光となり、この伝搬光を検出する光検出手段と、プローブを試料表面に沿って走査するプローブ微動機構と、少なくとも照射光学系とプローブ微動機構とプローブを支持する、倒立型光学顕微鏡のステージの上に載置される支持部材とを更に有している走査型近接場光顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 D
, G02B 21/00
