特許

J-GLOBAL ID：200903089131455263

レジスト塗布装置

発明者： 村田 裕史
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-345996
公開番号（公開出願番号）：特開平11-176734
出願日： 1997年12月16日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：

【要約】【課題】 熟練技術を必要とせずに常に適正な吐出状態が得られるとともに、突発的なレジスト吐出異常にも対処できるレジスト塗布装置を得る。【解決手段】 ノズル41を、内部のレジスト33が透視可能な透明材料で形成する。ポンプ37のアップ・ダウンスピード及びストロークを制御するポンプ制御ユニット55を設ける。バルブ47の開閉タイミングを制御するバルブ制御ユニット57を設ける。透明のノズル41及びウエハ上に吐出されるレジスト33を撮影してその画像データを得るCCDカメラ59を設ける。理想的な吐出状態の画像データを記憶するとともに、この記憶画像データとCCDカメラ59による撮影画像データとを比較解析し、且つ撮影画像データが記憶画像データに近い値となるようにポンプ制御ユニット55とバルブ制御ユニット57とにそれぞれの制御信号を送るレジスト吐出制御ユニット61を設ける。

請求項（抜粋）：

レジストボトルからレジストを吸い上げるポンプと、該ポンプとレジスト配管により接続されウエハ上へレジストを吐出させるノズルと、前記ポンプと該ノズルとの間の前記レジスト配管に介装されレジストの流れを制御するバルブとを備えたレジスト塗布装置において、前記ノズルを、内部のレジストが透視可能な透明材料で形成し、前記ポンプのアップ・ダウンスピード及びストロークを制御するポンプ制御ユニットと、前記バルブの開閉タイミングを制御するバルブ制御ユニットと、透明の前記ノズル及びウエハ上に吐出されるレジストを撮影してその画像データを得るCCDカメラと、前記ポンプ制御ユニット、前記バルブ制御ユニット、該CCDカメラに接続され理想的な吐出状態の画像データを記憶するとともに、該記憶画像データと前記CCDカメラによる撮影画像データとを比較解析し、且つ該撮影画像データが記憶画像データに近い値となるように前記ポンプ制御ユニットと前記バルブ制御ユニットとにそれぞれの制御信号を送るレジスト吐出制御ユニットとを具備したことを特徴とするレジスト塗布装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  B05C 11/08 ,  G03F 7/16 502

FI (3件)：

H01L 21/30 564 Z ,  B05C 11/08 ,  G03F 7/16 502