特許

J-GLOBAL ID：200903089131739873

樹脂膜形成方法及び液晶表示装置

発明者： 坊下 純二 ,  廣瀬 貴司 ,  櫻井 芳亘
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 池内 寛幸 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-137682
公開番号（公開出願番号）：特開2002-331266
出願日： 2001年05月08日
公開日（公表日）： 2002年11月19日
要約：

【要約】【課題】 基体上に塗布された樹脂膜を端面除去する際に発生する樹脂膜ムラを抑制することのできる樹脂膜形成方法、及び前記方法で形成された樹脂膜を含む液晶表示装置を提供する。【解決手段】 基板上に樹脂膜を形成する樹脂膜形成方法であって、前記基板上に樹脂を塗布し、前記樹脂が塗布された基板を、前記塗布と同一チャンバー内において、常温常圧下で回転させながら所定時間スピン乾燥した後、前記基板端面部の樹脂を除去する。前記スピン乾燥における基板の回転速度は100rpm以下であることが好ましく、処理時間は30秒以上であることが好ましい。

請求項（抜粋）：

基板上に樹脂膜を形成する樹脂膜形成方法であって、前記基板上に樹脂を塗布し、前記樹脂が塗布された基板を、前記塗布と同一チャンバー内において、常温常圧下で回転させながら所定時間スピン乾燥した後、前記基板端面部の樹脂を除去することを特徴とする樹脂膜形成方法。

IPC (4件)：

B05D 1/40 ,  G02F 1/1333 505 ,  H01L 21/312 ,  H01L 29/786

FI (4件)：

B05D 1/40 A ,  G02F 1/1333 505 ,  H01L 21/312 D ,  H01L 29/78 619 A

Fターム (33件)：

2H090HB07X ,  2H090HC05 ,  2H090LA04 ,  2H090LA08 ,  2H090LA09 ,  4D075AC64 ,  4D075AC91 ,  4D075AC94 ,  4D075BB14Z ,  4D075BB24Z ,  4D075CA23 ,  4D075CA48 ,  4D075DA06 ,  4D075DC21 ,  4D075DC22 ,  4D075EA05 ,  4D075EA45 ,  4D075EB22 ,  5F058AA03 ,  5F058AD08 ,  5F058AD12 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AG09 ,  5F058AH01 ,  5F110AA18 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110NN04 ,  5F110NN27 ,  5F110NN36 ,  5F110QQ19