特許

J-GLOBAL ID：200903089137143921

半導体試験装置

発明者： 桜井 道彦
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 岡▲崎▼ 信太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-082334
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275299
出願日： 1999年03月25日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】 高周波変調駆動により被試験素子の試験を行うことができる半導体試験装置を提供すること。【解決手段】 被試験素子13の動作を試験するための半導体試験装置50において、筐体91と、前記被試験素子13と電気的に接続されるように前記被試験素子13を保持する素子保持部12と、前記素子保持部12と電気的に接続されていて、前記被試験素子13を駆動させるための駆動部11と、を有する複数の駆動装置10が前記筐体内91に配置されている試験装置1と、前記試験装置1と電気的に接続されていて、前記駆動装置10の動作を制御するための駆動信号DSを送る制御装置1とを有する。

請求項（抜粋）：

被試験素子の動作を試験するための半導体試験装置において、筐体と、前記被試験素子と電気的に接続されるように前記被試験素子を保持する素子保持部と、前記素子保持部と電気的に接続されていて、前記被試験素子を駆動させるための駆動部と、を有する複数の駆動装置が前記筐体内に配置されている試験装置と、前記試験装置と電気的に接続されていて、前記駆動装置の動作を制御するための駆動信号を送る制御装置とを有することを特徴とする半導体試験装置。

Fターム (7件)：

2G003AA06 ,  2G003AC01 ,  2G003AD02 ,  2G003AE03 ,  2G003AE06 ,  2G003AH00 ,  2G003AH05