特許
J-GLOBAL ID：200903089140772409
動圧軸受装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-031508
公開番号（公開出願番号）：特開平6-241232
出願日： 1993年02月22日
公開日（公表日）： 1994年08月30日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、高速回転する回転駆動装置に適用され、動圧空気を発生させることにより支持する動圧軸受装置に関し、膜厚管理が容易で高硬度・高潤滑性の薄膜を軸受面に形成することにより、高信頼性の動圧軸受装置を提供することを目的とする。【構成】 円柱形状に形成された第1軸受部材11と、第1軸受部材11を挿入されその外周面13に所定隙間15を介して対向する内周面14を有する第2軸受部材12と、第1軸受部材11の外周面13に設けられ動圧を発生させる動圧発生用溝16と、を備え、第1軸受部材11の外周面13にダイヤモンド粒子クラスタ薄膜を形成し、第2軸受部材12が回転したとき、動圧発生用溝16によって外周面13および内周面14間に動圧を発生させることにより第1、2軸受部材11、12を非接触回転状態でラジアル方向に支持する。
請求項（抜粋）：
円柱形状に形成された第1軸受部材と、該第1軸受部材を挿入されその軸側面の外周面に所定隙間を介して対向する内周面を有する第2軸受部材と、第1軸受部材の外周面あるいは第2軸受部材の内周面の何れか一方に設けられ動圧を発生させる動圧発生手段と、を備え、動圧発生手段によって第1、2軸受部材の外周面および内周面間に動圧を発生させることによりラジアル方向に支持する動圧軸受装置において、第1軸受部材の外周面あるいは第2軸受部材の内周面の少なくとも何れか一方にダイヤモンド粒子クラスタ薄膜を形成することを特徴とする動圧軸受装置。
IPC (4件)：
F16C 33/24
, C30B 29/04
, F16C 17/02
, F16C 17/04
