特許
J-GLOBAL ID:200903089154522120
フリップチップのバンプ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松田 和子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-253478
公開番号(公開出願番号):特開平9-097794
出願日: 1995年09月29日
公開日(公表日): 1997年04月08日
要約:
【要約】【課題】 接触抵抗の増大やクラックによるオープン不良の発生を防止することが可能なフリップチップのバンプを提供することを目的とする。【解決手段】 フリップチップのバンプ1の上平面1aに凹部1bを設けることにより、バンプとダイペーストとの接触面積を増大させ、バンプとダイペーストとの密着性(接着性)を向上させる。
請求項(抜粋):
バンプの上面を凸凹状にしたことを特徴とするフリップチップのバンプ。
IPC (2件):
H01L 21/321
, H01L 21/60 311
FI (2件):
H01L 21/92 602 G
, H01L 21/60 311 Q
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