特許
J-GLOBAL ID：200903089160374035
非コロイド状研磨材の回収方法及び装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-100346
公開番号（公開出願番号）：特開2000-288935
出願日： 1999年04月07日
公開日（公表日）： 2000年10月17日
要約：
【要約】【課題】 研磨工程排水から研磨材スラリとして容易に再利用可能な研磨粒子のスラリを効率的に回収する。【解決手段】 研磨工程排水を精密濾過処理し、透過液を遠心分離することにより濃縮し、濃縮液を水洗する非コロイド状研磨材の回収方法。研磨工程排水が導入される精密濾過膜手段1と、該精密濾過手段1の透過液が導入される遠心分離手段2と、該遠心分離手段2で得られた濃縮液を水洗する洗浄手段3とを備えてなる非コロイド状研磨材の回収装置。
請求項（抜粋）：
非コロイド状研磨材を含むウエハの研磨工程排水から該研磨材を回収する方法において、該研磨工程排水を精密濾過膜処理して粗大不純物を除去し、得られた透過液を遠心分離することにより濃縮し、濃縮液を水洗することを特徴とする非コロイド状研磨材の回収方法。
IPC (2件)：
B24B 57/02
, H01L 21/304 622
B24B 57/02
, H01L 21/304 622 E
