特許

J-GLOBAL ID：200903089161980850

ダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜成形体

発明者： 岩村 栄治 ,  武田 実佳子 ,  宮本 隆志 ,  赤理 孝一郎
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 小谷 悦司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-289718
公開番号（公開出願番号）：特開2000-119843
出願日： 1998年10月12日
公開日（公表日）： 2000年04月25日
要約：

【要約】【課題】 表面平滑性に優れた膜が形成できるスパッタリング法によって、高硬度と優れた密着性を併せ持ったダイヤモンドライクカーボン膜を表面層とする硬質多層膜形成体を提供する。【解決手段】 スクラッチ試験において50N以上の密着性を示すと共に、硬度が40GPa以上であるダイヤモンドライクカーボン膜を最表面層とし、且つ最表面の粗さが中心線平均粗さRaで50nm以下である。

請求項（抜粋）：

スクラッチ試験において50N以上の密着性を示すと共に、硬度が40GPa以上であるダイヤモンドライクカーボン膜を最表面層とし、且つ最表面の粗さが中心線平均粗さRaで50nm以下であることを特徴とするダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜成形体。

IPC (2件)：

C23C 14/06 ,  B23B 27/14

FI (3件)：

C23C 14/06 F ,  C23C 14/06 N ,  B23B 27/14 A

Fターム (21件)：

3C046FF02 ,  3C046FF17 ,  3C046FF20 ,  3C046FF38 ,  3C046FF44 ,  3C046FF45 ,  3C046FF48 ,  4K029BA02 ,  4K029BA11 ,  4K029BA16 ,  4K029BA34 ,  4K029BA55 ,  4K029BA57 ,  4K029BB02 ,  4K029BB10 ,  4K029BD03 ,  4K029BD04 ,  4K029BD05 ,  4K029CA05 ,  4K029CA06 ,  4K029DC39