特許
J-GLOBAL ID：200903089162145360
除振装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡部 正夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-224883
公開番号（公開出願番号）：特開平7-077237
出願日： 1993年09月10日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：
【要約】【構成】 定盤と、その定盤の振動を抑制するためのアクチュエータと、このアクチュエータを駆動する駆動手段と、定盤に設けた振動計と、この振動計の出力を駆動手段に帰還させる帰還手段とで構成される除振装置。帰還手段は、振動計の出力を監視する監視回路と、その監視回路の出力に従い帰還手段の帰還量を制御する回路とで構成される。【効果】 不慮の外乱に対してアクチュエータの破損を防止し、また各軸の相互干渉の発生を防ぐべく振動を速やかに減衰させることができ、また振動計の出力が極めて小さいときでも、不慮の外乱を意識せずに、制御系が発振をしない範囲で、可能な限り高いサーボゲインを与えることができる。
請求項（抜粋）：
定盤1と、該定盤の振動を抑制するためのアクチュエータ2と、該アクチュエータを駆動する駆動手段6と、前記定盤に設けた振動計3と、該振動計の出力を前記駆動手段に帰還させる帰還手段5,7,8とからなる除振装置において、前記帰還手段は、前記振動計の出力を監視する監視回路7と、その監視回路の出力に従い該帰還手段の帰還量を制御する回路5,8とからなる装置。
IPC (2件)：
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