オゾン発生装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：熊谷隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-224150
公開番号（公開出願番号）：特開平8-059210
出願日： 1994年08月24日
公開日（公表日）： 1996年03月05日
要約：

【要約】【目的】発生するオゾンがCr化合物で汚染されないか、或いは高集積度の半導体製造に問題にならない程度の微量な汚染で済むオゾン発生装置を提供すること。【構成】オゾン発生装置のオゾン発生セル以降のオゾンガス送出路の少なくともオゾンガスと接する部分を耐オゾン性を有し且つ構成材料としてCrを含まない、アルミニウム(Al)、アルミニウム合金、テフロン、リン(P)及び/又はタングステン(W)が微量に添加されたニッケル(Ni)、高純度シリコン(SiO)、高純度サファイア(Al2O3)のいずれか1又は2以上で構成するか、これらの材料をコーティングして構成した。

請求項（抜粋）：

原料ガスを供給すると共に高電圧源から高電圧を印加し、オゾンガスを発生するオゾン発生セル及び発生したオゾンガスを送出するオゾンガス送出路を具備するオゾン発生装置において、前記オゾン発生セル以降のオゾンガス送出路の少なくともオゾンガスと接する部分の材料をクロムを含まない材料で構成したことを特徴とするオゾン発生装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

放電反応装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-120868 出願人：株式会社荏原製作所
特開昭51-075690
特開昭59-128203

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