特許
J-GLOBAL ID：200903089166639510
露光装置および露光装置システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-115429
公開番号（公開出願番号）：特開2000-306815
出願日： 1999年04月22日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：
【要約】【課題】 サーバ内で全ジョブファイルを一元管理することで、データ量を最小限に抑え、また、管理対象を指定することが出来る柔軟性を持たせることで、特定のステッパ内で行われた任意のパラメータ変更を他のステッパにも反映させる。【解決手段】 露光装置管理装置(サーバ)と露光装置をネットワーク接続してなる露光装置システムにおいて、前記露光装置は、パラメータに変更が行なわれた際、前記サーバに変更パラメータを通知し、前記サーバは、前記露光装置から送られた変更パラメータを保存および差分管理する。前記差分管理は、例えばオペレータが指定するパラメータのみについて行なう。
請求項（抜粋）：
LANインターフェースを具備したネットワーク対応露光装置であって、パラメータに変更が行なわれた際、ネットワーク上の露光装置管理装置に変更パラメータを通知する手段を有することを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 502 G
, G03F 7/20 521
