特許
J-GLOBAL ID：200903089167606691
表面弾性波素子
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-013006
公開番号（公開出願番号）：特開平6-232677
出願日： 1993年01月29日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【目的】 素子の歩留りを高めかつ高周波領域において高い電気機械的結合係数を有する表面弾性波素子を得ることである。【構成】 本発明に従う表面弾性波素子は、Si基板1上に、ダイヤモンドおよびダイヤモンド状炭素膜の少なくともいずれかからなる第1の層2と、金属酸化物からなり、接地のために設けられる第4の層3と、圧電体からなる第2の層4と、電気-機械係数を行なうための電極を構成する第3の層5とが積層されて構成される。
請求項（抜粋）：
ダイヤモンドおよびダイヤモンド状炭素膜の少なくともいずれかからなる第1の層と、圧電体からなる第2の層と、電気-機械変換を行なうための電極を構成する第3の層と、接地のために設けられる第4の層とが積層された表面弾性波素子において、前記第4の層が導電性酸化物から形成されていることを特徴とする、表面弾性波素子。
IPC (2件)：
前のページに戻る
