特許
J-GLOBAL ID：200903089169292155
圧力センサとその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
廣澤 勲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-082812
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273248
出願日： 1993年03月16日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】 センサの気密性が高く、被測定圧力媒体が外部に漏れることがなく、かつ高精度で簡単な構成にする。【構成】 半導体の圧力センサ素子20と、センサ素子20の熱膨張率と近い熱膨張率の金属製の管であって被測定圧を導入する圧力導入筒25を設ける。センサ素子20を収容する樹脂製のセンサケース21と一体に、リードフレーム端子22と圧力導入筒25をインサート成形し、センサケース21内の圧力導入筒25の基端部に、センサ素子20を気密状態に接合する。
請求項（抜粋）：
半導体の圧力センサ素子と、上記センサ素子の熱膨張率と近い熱膨張率の金属製の管であって被測定圧を導入する圧力導入筒を有し、このセンサ素子を収容する樹脂製のセンサケースと一体に、リードフレーム端子と上記圧力導入筒とをインサート成形し、上記圧力導入筒の上記センサケース内の基端部に上記センサ素子を気密状態に接合したことを特徴とする圧力センサ。
IPC (2件)：
G01L 9/04 101
, H01L 29/84
