特許
J-GLOBAL ID：200903089171874196
エッチング速度評価方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢葺 知之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-242771
公開番号（公開出願番号）：特開平10-092789
出願日： 1996年09月13日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、半導体ウエハのエッチング速度をリアルタイム計測し評価する手法およびエッチング液の流動状態を制御しながらエッチング速度の評価する方法、また数種のエッチング液によるエッチング速度の評価を連続的に行う手法を提供する。【解決手段】 水晶振動子に被覆した被測定材料をエッチング液中に浸漬し、エッチング作業中のエッチング速度を水晶振動子の周波数変化をモニターすることによりえられるようにした。また、被測定材料を被覆した水晶振動子をフローセルに組み込み、エッチング液の流動状態を制御したり、異なる成分のエッチング液を連続的に流して上記測定が行える。フローセルは被測定材料を被覆した水晶振動子上に均一の厚みの流路を確保することによりエッチング液が層流になるように構成されている。
請求項（抜粋）：
水晶振動子に被測定材料を被覆し、該水晶振動子に被覆した該測定材料をエッチング液に接触させ、該水晶振動子の振動周波数変化から被測定材料のエッチング速度をリアルタイムで定量的に評価することを特徴とするエッチング速度評価方法。
IPC (4件)：
H01L 21/306
, G01B 17/02
, G01N 5/02
, H01L 21/66
H01L 21/306 A
, G01B 17/02 A
, G01N 5/02 A
, H01L 21/66 P
