大気圧プラズマ粉体処理方法及びその装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：佐藤成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-132326
公開番号（公開出願番号）：特開平7-328427
出願日： 1994年06月14日
公開日（公表日）： 1995年12月19日
要約：

【要約】【目的】プラズマ処理により粉粒体の表面を改質し、粉粒体全体として改質が均一である大気圧プラズマ粉体処理方法及びその装置を提供する。【構成】外周部に交流電源11と接続される高周波電極1aと接地電極1bとから成る電極対1を設けて形成されたプラズマ反応ゾーン2を備えた絶縁体管3の一端部のガス流入口4aから希ガス又は希ガスと反応性ガスとの混合ガスを導入し、絶縁体管3の他端部に連なるガス排出口4bから上記ガスを排出し、大気圧下でプラズマ反応ゾーン2にグロー放電プラズマを発生させて、プラズマ反応ゾーン2に供給された粉粒体を処理する。この場合、上記絶縁体管3のプラズマ反応ゾーン2とガス流入口4aとの間に備えられた被処理材料供給口6から、希ガス又は希ガスと反応性ガスとの混合ガスが流れるプラズマ反応ゾーン2のプラズマ中に連続的に被処理材料5である粉粒体を供給する。

請求項（抜粋）：

外周部に交流電源(11)と接続される高周波電極(1a)と接地電極(1b)とから成る電極対(1)を設けて形成されたプラズマ反応ゾーン(2)を備えた絶縁体管(3)の一端部のガス流入口(4a)から希ガス又は希ガスと反応性ガスとの混合ガスを導入し、絶縁体管(3)の他端部に連なるガス排出口(4b)から上記ガスを排出し、大気圧下でプラズマ反応ゾーン(2)にグロー放電プラズマを発生させて、プラズマ反応ゾーン(2)に供給された粉粒体を処理する大気圧プラズマ粉体処理方法において、上記絶縁体管(3)のプラズマ反応ゾーン(2)とガス流入口(4a)との間に備えられた被処理材料供給口(6)から、希ガス又は希ガスと反応性ガスとの混合ガスが流れるプラズマ反応ゾーン(2)のプラズマ中に連続的に被処理材料(5)である粉粒体を供給することを特徴とする大気圧プラズマ粉体処理方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平4-135638
超微粒子の表面処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-289036 出願人：イーシー化学株式会社, 伊藤忠ファインケミカル株式会社

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