特許

J-GLOBAL ID：200903089182876050

赤外線放射温度測定方法

発明者： 佐藤 文彦
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  富士通オートメーシヨン株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-256873
公開番号（公開出願番号）：特開平5-099752
出願日： 1991年10月04日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：

【要約】【目的】 処理基板より放射する赤外線から該基板の温度を測定する方法に関し、測定精度の改善を目的とする。【構成】 真空室内で処理中の基板2から放射される赤外線を該真空室内に設けた反射鏡21で反射せしめ、真空室内に設けた赤外線検出プローブ3を介して該赤外線の光量から基板2の温度を赤外線放射温度計4にて測定する装置において、反射鏡21の温度とプローブ3の集光レンズの温度とを測定し、それらの測定温度によって赤外線放射温度計4の計測値を補正するように構成する。

請求項（抜粋）：

真空室内で処理中の基板(2) から放射される赤外線(27)を該真空室内に設けた反射鏡(21)で反射せしめ、該真空室内に設けた赤外線検出プローブ(3) を介して該反射赤外線(27)の光量より該基板(2) の温度を真空室外に設けた赤外線放射温度計(4)にて計測する装置において、該反射鏡(21)の温度と該プローブ(3) の集光レンズ(28)の温度とを測定し、該反射鏡(21)の温度と該プローブ(3) の集光レンズ(28)の温度とによって該赤外線放射温度計(4) の計測値を補正することを特徴とする赤外線放射温度測定方法。

IPC (3件)：

G01J 5/00 ,  G01J 5/10 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-120429
  
• 特開平1-110225
  
• 特開平3-120429
  
• 特開平1-110225