多段増幅型レーザシステム

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：木村高久 , 小幡義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-369735
公開番号（公開出願番号）：特開2006-179600
出願日： 2004年12月21日
公開日（公表日）： 2006年07月06日
要約：

【課題】 2ステージレーザの使用にあたり、直線偏光であって所望の偏光方位のレーザ光を得る。【解決手段】 AMP内の光軸上又はAMPの後の光軸上に、光軸を中心にして回転自在の偏光子を備える。偏光子は、レーザ光を互いに直交する二つの直線偏波成分すなわちP偏光成分とS偏光成分に分離して出射する。露光装置側で所望の方位の光が必要とされる場合は、所望の方位と偏光子のP偏光成分の方位が一致するように偏光子を回転させる。【選択図】図26

請求項（抜粋）：

レーザ光を生成し狭帯域化して出射する発振段と、前記発振段の後段に直列に配置され、前段から出射されたレーザ光を増幅して出射する一以上の増幅段と、自身に入射するレーザ光の光軸を略中心に回転自在な状態で前記増幅段の光軸上又は前記増幅段以降の光軸上に設けられ、自身に入射するレーザ光を互いに直交する二つの直線偏波成分に分離して出射する偏光子と、を備えたことを特徴とする多段増幅型レーザシステム。

IPC (4件)：

H01S 3/23 , H01S 3/00 , H01S 3/10 , H01L 21/027

FI (4件)：

H01S3/23 , H01S3/00 B , H01S3/10 Z , H01L21/30 515B

Fターム (6件)：

5F046CA04 , 5F172AD06 , 5F172DD04 , 5F172NR12 , 5F172NR13 , 5F172ZZ02

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭62-243329
狭帯域化ガスレーザ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-097584 出願人：株式会社小松製作所
特開昭63-101813

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