特許

J-GLOBAL ID：200903089186918920

ダイシングブレード及びブレード保持装置

発明者： 鈴木 直人
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-220565
公開番号（公開出願番号）：特開2001-044145
出願日： 1999年08月03日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】【課題】 切断加工部の冷却効率を向上し、エッチング時のシールを確実に行う。【解決手段】 ダイシングブレード10としてアルミ合金製の台金11の押圧面11aに薄刃砥石3を装着し、対向する当接面11bの面粗さR4を押圧面11aの面粗さR2より小さくする。当接面11bに続く側面11cにエッチング時にOリング8を圧接させてシールする傾斜面14を形成し、その面粗さR5をR4より大きい5μm以上とする。ダイシングブレード10をマウント4の基準面4bに押しナット12で押圧固定する。マウント4には台金11を貫通して押しナット12を螺合させるネジ軸4aとその周囲の基準面4bを設ける。

請求項（抜粋）：

台金の一方の端面に刃部を備えたダイシングブレードにおいて、前記台金の一方の端面に対向する他方の端面の面粗さを小さくすると共にこの他方の端面の外側に位置していてシール部材を押圧するシール領域を大きな面粗さにしたことを特徴とするダイシングブレード。

IPC (4件)：

H01L 21/301 ,  B24B 27/06 ,  B24D 5/12 ,  B24D 5/16

FI (4件)：

H01L 21/78 F ,  B24B 27/06 J ,  B24D 5/12 Z ,  B24D 5/16

Fターム (16件)：

3C058AA03 ,  3C058AA09 ,  3C058AA14 ,  3C058CB01 ,  3C058CB06 ,  3C058DA17 ,  3C063AA02 ,  3C063AB03 ,  3C063BB07 ,  3C063BG03 ,  3C063BG30 ,  3C063BH03 ,  3C063EE10 ,  3C063EE31 ,  3C063FF16 ,  3C063FF30