特許

J-GLOBAL ID：200903089191747450

ダミーウエハー

発明者： 石崎 博久
出願人/特許権者： 石崎 博久
代理人 (1件)： 小松 秀岳 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-332436
公開番号（公開出願番号）：特開2003-133194
出願日： 2001年10月30日
公開日（公表日）： 2003年05月09日
要約：

【要約】【課題】 シリコン製ダミーウエハーの性能を損なうことなく長期間に亘って安定して使用し得る新規なダミーウエハーを提供する。【解決手段】 シリコンウエハー1の少なくとも片面に耐薬品性薄膜層2を形成してなることを特徴とするダミーウエハーである。耐薬品性薄膜層2はセラミック(特にはSiC)、ダイヤモンドライクカーボン、テトラヘデラルアモルファスカーボンのいずれかである。

請求項（抜粋）：

シリコンウエハーの少なくとも片面に耐薬品性薄膜層を形成してなることを特徴とするダミーウエハー。

IPC (4件)：

H01L 21/02 ,  C23C 14/06 ,  C23C 16/27 ,  C23C 30/00

FI (5件)：

H01L 21/02 B ,  C23C 14/06 F ,  C23C 16/27 ,  C23C 30/00 C ,  C23C 30/00 D

Fターム (19件)：

4K029AA04 ,  4K029AA06 ,  4K029AA07 ,  4K029BA34 ,  4K029BC01 ,  4K029BD00 ,  4K030BA27 ,  4K030BA28 ,  4K030CA04 ,  4K030CA05 ,  4K030CA12 ,  4K030KA46 ,  4K030LA11 ,  4K044AA11 ,  4K044AB10 ,  4K044BA18 ,  4K044BC02 ,  4K044CA13 ,  4K044CA14