特許
J-GLOBAL ID：200903089208381942
カップ型研削砥石
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-150369
公開番号（公開出願番号）：特開平9-001465
出願日： 1995年06月16日
公開日（公表日）： 1997年01月07日
要約：
【要約】【目的】粒度の異なる砥石を一体に形成して1軸の回転軸で荒研削、精研削を行うようにし、且つ粒度の細かい砥石の目詰まりを抑える。【構成】カップ型研削砥石14は、内周側に形成された荒研削用砥石20と外周側に形成された精研削砥石22とで一体に形成される。精研削用砥石22は、円周方向に所定の間隔をもって形成されて断続研削可能な形状となっている。荒研削用砥石20で荒研削された半導体ウェーハ10の表面10Aに精研削用砥石22が押し付けられると、砥石22、22...は断続研削可能な形状に形成されているので、目づまりすることなく表面10Aを精研削する。
請求項（抜粋）：
被加工物支持テーブルに支持された被加工物の表面を研削するカップ型研削砥石に於いて、前記カップ型砥石を内周側の砥石と外周側の砥石とで一体に形成すると共に、該内周側の砥石と外周側の砥石とを粒度の異なる砥石に形成し、該内周側の砥石と外周側の砥石のうち粒度の細かい砥石を断続研削可能な形状に形成したことを特徴とするカップ型研削砥石。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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