特許
J-GLOBAL ID：200903089209027123
エバネッセント光露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-191674
公開番号（公開出願番号）：特開2001-023877
出願日： 1999年07月06日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：
【要約】【課題】 位置検出用レーザ光によるレジストの誤露光を防止する。【解決手段】 エバネッセント光露光装置は、光プローブ103の微小開口104から滲み出るエバネッセント光105により、基板106上に塗布されたレジスト107を露光する光学系1と、基板106を、X、Y、Z方向に駆動させる駆動系2と、駆動系2を制御するための制御系3とを有する。光プローブ103とレジスト107との位置関係を検出するための、半導体装置109から光プローブ103へと放射される位置検出用レーザ光130は、レジスト107の露光感度波長領域から大幅に離れた波長のものが用いられる。
請求項（抜粋）：
露光用光源からの露光光を入射することによってエバネッセント光を発生する微小開口の形成されたプローブを有し、前記エバネッセント光によって感光体を露光するエバネッセント光露光装置において、前記プローブと前記感光体との相対位置の検出を、前記感光体の実質的な感光波長域外の波長の位置検出用光を前記プローブに照射することで行うことを特徴とするエバネッセント光露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 529
, G03F 7/20 521
5F046BA07
, 5F046CA03
, 5F046CA10
, 5F046DA07
, 5F046DB08
, 5F046DC09
