特許
J-GLOBAL ID：200903089212242701
半導体製造システム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-256616
公開番号（公開出願番号）：特開2006-073845
出願日： 2004年09月03日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：
【課題】レシピの不整合を解消し、記憶領域の無駄な使用を排除する。 【解決手段】複数の半導体製造装置A1〜Anが接続されたブロックコンピュータ10を備えており、A1〜An毎のレシピを各A1〜An毎とブロックコンピュータ10との双方で保持して、ブロックコンピュータ10にて管理するように構成された半導体製造システムにおいて、作業者がA1のレシピを変更すると、ブロックコンピュータ10はA1のレシピを吸い上げ、A1と同一グループのA2、A3のレシピを変更する。半導体製造装置側でレシピが変更された場合であっても、同一グループの半導体製造装置のレシピを自動的に変更できるので、レシピの不整合を防止でき、不良ロットの発生を未然に防止できる。ブロックコンピュータでの余分の記憶を防止できるので、記憶領域の無駄な使用を排除できる。 【選択図】図4
請求項（抜粋）：
複数の半導体製造装置が接続された群管理システムを備えており、前記複数の半導体製造装置毎の生産レシピを前記複数の半導体製造装置毎と前記群管理システムとの双方でそれぞれ保持し、かつ、前記群管理システムによって管理するように構成されている半導体製造システムにおいて、
前記複数の半導体製造装置のいずれかにおいて前記生産レシピの内容の作成および/または変更が実行されると、その半導体製造装置が前記群管理システムへその生産レシピのデータを送信するステップと、
前記群管理システムが、それ自身の保持する前記生産レシピの内容の作成および/または変更を実行するステップと、
前記群管理システムが、前記複数の半導体製造装置のうち前記半導体製造装置と同じ生産レシピを保持した他の半導体製造装置に対して前記生産レシピの内容の作成および/または変更を実行するように通知するステップと、
を実行するように構成されていることを特徴とする半導体製造システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/02 Z
, G05B19/418 Z
3C100AA68
, 3C100BB11
, 3C100CC02
, 3C100EE06
