特許

J-GLOBAL ID：200903089219437028

薄膜スピンプローブ

発明者： 末岡 和久
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団
代理人 (1件)： 長瀬 成城
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-024447
公開番号（公開出願番号）：特開平11-223637
出願日： 1998年02月05日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：

【要約】【課題】特に試料表面に平行なスピン偏極成分と垂直なスピン偏極成分の測定が可能な薄膜スピンプローブを提供する。【解決手段】基板1に、活性探針領域の薄膜を支える薄膜2を形成し、さらにその薄膜上に活性探針領域の薄膜3を形成し、基板の所定箇所を選択エッチングにより除去して構成したことを特徴とする薄膜スピンプローブ。

請求項（抜粋）：

基板1に、活性探針領域の薄膜を支える薄膜2を形成し、さらにその薄膜上に活性探針領域の薄膜3を形成し、基板の所定箇所を選択エッチングにより除去して構成したことを特徴とする薄膜スピンプローブ。