ガス制御装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-135266
公開番号（公開出願番号）：特開平5-172265
出願日： 1992年05月27日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：

【要約】【目的】単機能部相互間に配管、継手等の間接的接続手段が不要で、低コストで占有スペースが少なく、かつガス放出量の少ないガズ制御装置を提供する。【構成】高純度ガスの流通系に設けられ、3つ以上の単機能部2,3,4、5、6、7を一体的に直結したことを特徴としている。【作用】各単機能部が直結されるので、これらを接続するための配管、継手等の間接的接続手段が不要になり、この分のコストが節減されるとともに占有スペースが少なくてすむ。また、継手接続および溶接接続が不要なため外部リークの総量が少なく、かつ配管内面の総表面積が狭いからガス放出量も少なくガス純度の低下が防止される。

請求項（抜粋）：